産総研エネルギー・環境領域
JPEN
産総研：ゼロエミッション国際共同研究センターメディア掲載【EE Times Japan】「Al系材料を高品質に成膜できるHVPE装置を開発」（研究チーム長 菅谷 武芳）

【EE Times Japan】「Al系材料を高品質に成膜できるHVPE装置を開発」（研究チーム長 菅谷 武芳）

掲載日/出演日：2020/10/19

Share

Share

Contact

お問い合わせ

詳細はこちら
産総研：ゼロエミッション国際共同研究センターメディア掲載【EE Times Japan】「Al系材料を高品質に成膜できるHVPE装置を開発」（研究チーム長 菅谷 武芳）